FA
Pompe pneumatiche a soffietto
Caratteristica del FA
Nessuna contaminazione
Tutte le parti a contatto con liquidi sono in fluororesina che offre una migliore resistenza al calore e ai composti chimici aggressivi. Liquidi particolarmente aggressivi sono trasferiti in modo sicuro, senza emissione di particolati.
Sistema di azionamento a sensore
Per mezzo di un interruttore di prossimità interno, il sistema di azionamento a sensore apre e chiude la valvola solenoide. Questo garantisce prestazioni stabili anche in presenza di un basso numero di colpi.
Per il processo a wafer singolo è disponibile la FA-2E, una versione per piccole portate, dotata di un sistema a spruzzo. Con la FA-40VEW, dal design verticale per portate elevate, possono essere puliti wafer fino a 200/300 mm.
Il soffietto ad H (FA-40VEW) offre un’eccellente resistenza alle alte pressioni e garantisce una lunga durata a funzionamento continuo. Nel caso in cui si utilizzasse un comando speciale, la mandata potrebbe essere facilmente controllata e monitorata.
Specifiche (50 Hz)
Portata Max.: | 2.400 l/h |
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Pressione Max.: | 4 bar |
Frequenza massima di corsa: | 150 colpi/min |
Materiali principali: | PTFE / PFA |
Range di temperatura: | da 5 a 100°C |